1. Guru yang memenuhi syarat
2. Guru melakukan pengusulan
3. Kankemenag Kab/Kota melakukan persetujuan
4. Data calon kandidat penerima insentif
5. Pengolahan data oleh tim Pusat
6. Kuota insentif masing-masing Provinsi
7. Verifikasi data oleh Dukcapil
8. Penetapan penerima tunjangan insentif
Dalam hal ini, guru bukan PNS apabila ingin mendapatkan tunjangan insentif dari Kemenag terlebih dahulu harus memenuhi persyaratan terlebih dahulu.